下载一种真空大气转换腔的充气装置及充气方法、真空溅射设备的技术资料

文档序号:19076566

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本发明公开了一种真空大气转换腔的充气装置,包括:第一充气管路,第一充气管路上设有第一阀体;第二充气管路,第二充气管路上设有第二阀体;压力监控判断模块;氧气浓度监控判断模块;以及控制模块,其中:压力监控判断模块分别与真空大气转换腔和控制模块相...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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