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激光掺杂装置具有：溶液供给系统，其对掺杂区域供给包含掺杂剂的溶液；脉冲激光系统，其输出透过溶液且包含多个脉冲的脉冲激光；第一控制部，其控制对掺杂区域照射的脉冲激光的脉冲数和掺杂区域中的脉冲激光的注量；以及第二控制部，其控制溶液的流速，以使得...该专利属于国立大学法人九州大学;极光先进雷射株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人九州大学;极光先进雷射株式会社授权不得商用。