下载反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法的技术资料

文档序号:19075379

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反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括:以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1);以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的...
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