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反射镜驱动装置、反射镜驱动装置的控制方法及反射镜驱动装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:19075379
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反射镜驱动装置(100)的一对梁部在俯视观察下以夹着反射体(11M)的方式与反射体(11M)相连。一对梁部包括:以夹着反射体(11M)的方式与反射体直接相连的一对第一梁(11BL1、11BR1);以及与一对第一梁(11BL1、11BR1)的...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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