下载转移标的粒子的装置及其方法的技术资料

文档序号:19073679

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本发明是公开一种转移标的粒子的装置,其包含:(a)一基板,其厚度为T且宽度为W,该基板包含一顶部及一底部,该顶部包括一顶部表面且该底部包括一底部表面;(b)一刻痕结构,形成于该基板的该底部,且还包含宽度为W1的一沟槽,该沟槽是从该底部向该顶...
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