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本发明公开了一种铁电薄膜变容器的制备方法，利用激光脉冲沉积方法在氧化镁单晶衬底上制备锰掺杂钛酸锶钡薄膜，使用匀胶机将光刻胶均匀旋涂在薄膜表面；使用热板机对光刻胶先进行烘烤，然后进行对准和曝光；曝光完成后将样品进行适当处理即可进行显影；显影完...
该专利属于青岛科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过青岛科技大学授权不得商用。

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