下载一种发光二极管外延片及其制备方法的技术资料

文档序号:19063791

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本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底、缓冲层、N型半导体层、多量子阱层和P型半导体层,多量子阱层包括交替层叠的n个量子阱和(n+1)个量子垒,每个量子垒包括依次层叠的第一子层、第二子层、第三子层、...
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