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一种晶圆清洗设备及其清洗方法，所述晶圆清洗设备包括：密封的清洗腔体；用于放置晶圆的晶圆基座，位于所述清洗腔体内；第一进气管路，与所述清洗腔体连通，所述第一进气管路在开启时向所述清洗腔体输入气态CO2；第二进气管路，与所述清洗腔体连通，所述第...
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