下载一种芯片清洗系统及方法的技术资料

文档序号:19059116

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本发明提供了一种芯片清洗系统及方法。所述芯片清洗系统包括芯片清洗机构和废液净化机构,所述废液净化机构的进液口与所述芯片清洗机构的排液口连通。基于废液净化机构的设置,使得芯片清洗系统具有净化废水的功能,能够立即对芯片清洗机构产生的废水进行净化...
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