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薄膜晶体管和场效应二极管制造技术
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文档序号:19056070
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本实用新型提供了一种薄膜晶体管和场效应二极管,所述薄膜晶体管包括绝缘层;位于所述绝缘层的相对两侧的闭合圆环形的沟道层和闭合圆环形的栅电极;以及与所述沟道层相接触的闭合圆环形的源电极和闭合圆环形的漏电极;所述场效应二极管包括绝缘层;位于所述绝...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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