下载反射镜阵列及激光阵列输出光轴平行性建立系统及方法的技术资料

文档序号:19054325

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本发明涉及一种反射镜阵列及激光阵列输出光轴平行性建立系统及方法,激光阵列输出光轴平行性建立系统中包括反射镜阵列及至少两个自准直光管,是基于基准转移的思路,利用至少两个自准直光管将平面反射镜阵列中各平面反射镜的法线调整平行后将该平面反射镜阵列...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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