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可调谐去敏小型光纤干涉仪制造技术
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文档序号:19050785
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本发明实施例提供一种可调谐去敏小型光纤干涉仪,涉及光学仪器与控制设备领域。包括:干涉仪本体、壳体、半导体制冷贴片、感温模块和温控模块;壳体内部有一空腔,干涉仪本体设置在空腔中;半导体制冷贴片贴附在壳体的外表面;感温模块设置在空腔中,用于测量...
该专利属于山东省科学院激光研究所所有,仅供学习研究参考,未经过山东省科学院激光研究所授权不得商用。
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