下载一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统的技术资料

文档序号:19049770

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本实用新型为一种大尺度转角电磁悬浮微镜的测控系统,包括信号发生器、前置放大器、锁相放大器、高压放大器、RC隔离电路、移相电路及控制器;前置放大器包括与RC隔离电路相连接的C‑V转换电路、与锁相放大器连接的放大器,C‑V转换电路采集电磁悬浮微...
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