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基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器制造技术
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下载基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器的技术资料
文档序号:19032350
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本实用新型公开了基于石墨烯的多物理量检测传感器及应变传感器,其主要包括绝缘基底,绝缘基底周向均布有多个石墨烯薄膜,各个石墨烯薄膜两端分别设置有电极,所述绝缘基底被一盖体封闭,盖体和绝缘基底之间形成密封腔,所述密封腔内填充有气体,所述气体为C...
该专利属于苏州科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州科技大学授权不得商用。
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