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本实用新型公开了一种靶材帮定自动控温装置，控制单元的输入端电连接各热电偶，以实现接收各热电偶的电流信号或电压信号；控制单元设置有时间温度比较单元，控制单元电连接时间温度比较单元，以实现将各热电偶的电流信号或电压信号与存储在记录仪中的时间温度...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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