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本实用新型公开了一种石墨舟装片机构，包括四个硅片运载轨道、硅片缓存机构、六轴机械手、吸盘组件，所述硅片运载轨道的数量为四个，所述六轴机械手的底座到外侧的两个硅片运载轨道的距离相等，位于外侧的两个硅片运载轨道上的硅片缓存机构可延硅片运载轨道方...
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