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单晶炉漏硅报警装置及单晶炉制造方法及图纸
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下载单晶炉漏硅报警装置及单晶炉的技术资料
文档序号:19027159
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本实用新型提供一种单晶炉漏硅报警装置及单晶炉,所述装置包括第一报警器、第二继电器、转换电极和高温熔断组件,第一继电器的第一输入端的两端分别与第一电源的正负极连接,第一继电器的输出端与转换电极连接,转换电极与高温熔断组件连接,第一继电器的第二...
该专利属于邢台晶龙电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过邢台晶龙电子材料有限公司授权不得商用。
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