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焊盘结构和集成电路晶粒制造技术
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文档序号:19025341
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本发明公开一种焊盘结构,形成在集成电路晶粒上,包括:第一导电层,形成在集成电路晶粒的上表面上并具有中空部分;介电层,覆盖所述第一导电层;第二导电层,形成在所述介电层上并电连接到所述第一导电层;以及钝化层,覆盖所述第二导电层,并具有暴露所述第...
该专利属于联发科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联发科技股份有限公司授权不得商用。
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