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一种容器，用于从所述容器内含有的前体材料中传输含前体流体流，所述容器包括：由顶、一个或多个侧壁及底限定的内部体积；和至少一个用于气化的前体的流体出口，和至少一个颗粒屏障，所述至少一个颗粒屏障限定了在内部体积中的至少一个颗粒限制空间的至少部分...
该专利属于弗萨姆材料美国有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过弗萨姆材料美国有限责任公司授权不得商用。

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