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本发明提供了一种制备管状ITO靶材的工艺方法，该方法包括将ITO粉末装入包套容器，经热等静压处理制备ITO管状靶材，该包套容器包括一个内圆筒包套和一个外圆筒包套，内圆筒包套的壁厚是外圆筒包套壁厚的2倍以上，内圆筒包套的壁厚为3~10mm，外...
该专利属于株洲冶炼集团股份有限公司;王文军所有，仅供学习研究参考，未经过株洲冶炼集团股份有限公司;王文军授权不得商用。

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