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基板清洗系统及清洗方法技术方案
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文档序号:19015363
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本发明涉及显示面板领域,尤其涉及一种基板清洗系统及基板清洗方法。其中,基板清洗系统包括:至少两个侧边喷洒单元,设置于所述基板的周边位置,用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的周边;中间喷洒单元,设置于所述基板的中部位置,并位于所述至少两个侧边喷洒单...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。
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