下载基板清洗系统及清洗方法的技术资料

文档序号:19015363

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及显示面板领域,尤其涉及一种基板清洗系统及基板清洗方法。其中,基板清洗系统包括:至少两个侧边喷洒单元,设置于所述基板的周边位置,用于喷洒清洗剂以清洗所述基板的周边;中间喷洒单元,设置于所述基板的中部位置,并位于所述至少两个侧边喷洒单...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。