下载一种半导体互连结构的技术资料

文档序号:19010606

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本发明提供了一种半导体互连结构,本发明利用厚度较大且硬度较大的金属块进行上方的通孔的承载,防止塌陷;上方的第二和第三通孔与下方的插塞位置不对应,进一步防止塌陷的产生;此外,厚金属块可以作为互连结构使用,其侧面可以独立承当电连接功能,实现了即...
该专利属于庄清梅所有,仅供学习研究参考,未经过庄清梅授权不得商用。

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