下载显微镜下的旋转定位平台的控制系统和控制方法的技术资料

文档序号:19008765

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本发明公开了一种显微镜下的旋转定位平台的控制系统和控制方法,该系统包括:旋转控制台、第一、第二平移控制台、样品台、视觉反馈子系统、驱动器、和双闭环定位控制系统,第一、第二平移控制台的运动方向与所述旋转控制台的旋转轴垂直;双闭环定位控制系统包...
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