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一种波导光栅滤波器及其制作方法技术
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文档序号:19008515
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本发明提供一种波导光栅滤波器,所述波导光栅滤波器包括衬底(1)和波导(2),还包括用于支撑波导(2)的梁柱结构(3);所述梁柱结构(3)包括位于波导(2)两侧、设置在衬底(1)上的柱结构(302)和用于连接柱结构(302)的梁结构(301)...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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