下载一种波导光栅滤波器及其制作方法的技术资料

文档序号:19008515

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本发明提供一种波导光栅滤波器,所述波导光栅滤波器包括衬底(1)和波导(2),还包括用于支撑波导(2)的梁柱结构(3);所述梁柱结构(3)包括位于波导(2)两侧、设置在衬底(1)上的柱结构(302)和用于连接柱结构(302)的梁结构(301)...
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