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本发明涉及静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统，包括敏感结构、前级处理电路、锁相环和幅值调整器，敏感结构由激励元件、谐振器和拾振电阻组成，前级处理电路由仪表放大器、带通滤波器、移相器、波形变换器和分频器组成，拾振电阻输出的微弱...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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