下载一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法的技术资料

文档序号:19007943

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本发明公开了一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法,包括标定容器、测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组,动态运转设备通过密闭的气体管路依次连通测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组,本发明...
该专利属于核工业理化工程研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业理化工程研究院授权不得商用。

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