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本发明公开了一种三自由度超声振动辅助加工精密定位平台，采用电火花线切割技术进行加工，减少了机械上的装配；采用四个对称式柔性差动放大机构并联，从而实现动平台在XY平面内高精度的平动，串联桥式放大机构实现Z方向的平动；大平台串联一小平台，使用高...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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