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一种高能注入埋层双通道LDMOS器件制造技术
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文档序号:19005608
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本实用新型公开了一种高能注入埋层双通道LDMOS器件,该器件包括P型衬底,P型衬底中形成有相邻的深N阱和P阱,从深N阱的顶部至内部依次形成有P型帽层和至少一层注入埋层,深N阱远离P阱的一侧形成有N+漏极,P阱上形成有N+源极和P+源极,在深...
该专利属于成都信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过成都信息工程大学授权不得商用。
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