下载改良型太阳能电池片扩散炉的技术资料

文档序号:19003104

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本发明涉及太阳能电池扩散技术领域,尤其涉及一种改良型太阳能电池片扩散炉,将硅片槽倾斜设置后,硅片能够倾斜设置在炉管内,炉尾端的进气口放在炉尾端的上部,抽气口仍然放在炉的下部,硅片沿气流方向倾斜,优化扩散炉管内气场氛围,提高了携源氮气与硅片中...
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