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本发明的空间催化式化学气相沉积设备，其包括进气装置，所述进气装置包括：向基材输送的反应气出口及催化剂出口，隔离装置，其分布在催化剂气体周围，隔离装置使得催化剂气体在隔离装置围成的空间内分布得到精确控制，两反应气体在该催化剂集中的空间内的混合...
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