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一种负热膨胀锆钛酸铅薄膜的制备方法技术
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文档序号:19002860
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本发明公开了一种负热膨胀锆钛酸铅薄膜的制备方法,步骤为:将SrTiO3衬底作超声清洗烘干,粘于加热托表面;利用激光对Pb(Zr0.2Ti0.8)O3靶材表面进行预溅射清理;将上述靶材放置进脉冲激光沉积腔体内,抽真空达到1.5×10‑3~1×...
该专利属于湖北大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖北大学授权不得商用。
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