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本发明提供一种定位销机构、基板传输装置及基板传输方法。本发明的定位销机构包括定位销及带动定位销进行移动的气缸,所述气缸包括倾斜设置的缸体及伸缩设置于所述缸体内的活塞杆,从而所述定位销可以在气缸带动下同时在水平方向和竖直方向发生位移,能够降低...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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