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本实用新型涉及一种热丝化学气相沉积装置，所述装置包括：反应室(1)，进气口(2)以及出气口(3)；所述反应室(1)内设置热灯丝(4)和样品台(5)，所述样品台(5)上设置挡热筒(6)。本实用新型通过在热丝化学气相沉积装置设置挡热筒，改变了沉...该专利属于深圳市金洲精工科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市金洲精工科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种热丝化学气相沉积装置，所述装置包括：反应室(1)，进气口(2)以及出气口(3)；所述反应室(1)内设置热灯丝(4)和样品台(5)，所述样品台(5)上设置挡热筒(6)。本实用新型通过在热丝化学气相沉积装置设置挡热筒，改变了沉...