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一种柔性强介电薄膜及其制作方法技术
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文档序号:18973966
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本发明公开了一种柔性强介电薄膜及其制作方法。其中,柔性强介电薄膜,包括衬底、位于衬底表面的过渡层和位于过渡层表面的强介电薄膜层,所述衬底的材质为聚酰亚胺。本发明采用聚酰亚胺作为柔性强介电薄膜的衬底,使得本发明的柔性强介电薄膜弯曲度高,不易折...
该专利属于佛山市卓膜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市卓膜科技有限公司授权不得商用。
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