下载一种柔性强介电薄膜及其制作方法的技术资料

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本发明公开了一种柔性强介电薄膜及其制作方法。其中,柔性强介电薄膜,包括衬底、位于衬底表面的过渡层和位于过渡层表面的强介电薄膜层,所述衬底的材质为聚酰亚胺。本发明采用聚酰亚胺作为柔性强介电薄膜的衬底,使得本发明的柔性强介电薄膜弯曲度高,不易折...
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