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一种发光二极管外延片及其制备方法技术
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文档序号:18973942
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本发明公开了一种发光二极管外延片及其制备方法,属于半导体技术领域。外延片包括衬底以及依次层叠在衬底上的缓冲层、N型半导体层、有源层、电子阻挡层和P型半导体层,缓冲层,电子阻挡层包括依次层叠的多个复合结构,每个复合结构包括依次层叠的第一子层和...
该专利属于华灿光电(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电(浙江)有限公司授权不得商用。
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