温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种形貌参数可控的微纳探针批量制备装置，机械装置部分包括z轴电机模组、x轴电机模组、电解反应模块、电解反应槽、清洗槽、绝缘处理槽、多通道微探针夹持模组；控制器包括微处理器、步进电机驱动器、步进电机细分驱动器、动态细分控制器、电解...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。