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激光扫略制备电热自循环微流控系统的方法及微流控系统技术方案
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文档序号:18967553
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本发明公开了一种激光扫略制备电热自循环微流控系统的方法及微流控系统,首先利用飞秒激光或纳秒激光对ITO玻璃基体进行切割,实现图案化,得到表面含有叉指状非对称结构的电热流泵电极的电极基底层,其次制备流道层和盖板层,所述流道层中分布有由流道串联...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。
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