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本发明公开了一种半导体制程废氢气回收再利用的一体化方法及装置，一体化处理工序依次包括催化燃烧、喷雾洗涤、水气分离、吸附净化、变压吸附以及氢气纯化等工序，一体化处理装置包括催化燃烧器、喷雾洗涤器、水气分离器、鼓风机、第一吸附器、第二吸附器、吸...
该专利属于四川天采科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川天采科技有限责任公司授权不得商用。

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