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压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备以及移动体技术
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下载压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备以及移动体的技术资料
文档序号:18949683
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本发明提供一种能够降低对于环境湿度的影响并能够发挥优异的压力检测精度的压力传感器、压力传感器的制造方法、压力传感器模块、电子设备以及移动体。压力传感器具有:基板,其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜;侧壁部,其被配置于所述基板的一面侧,并在俯...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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