下载一种带有金属衬底的微型集成波导分束器件及其加工制备方法的技术资料

文档序号:18938265

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本发明公开一种带金属衬底的微型集成波导分束器,包含以下组件:纳米天线、波导层、耦合层及金属衬底。所述的纳米天线采用高折射率的纯电介质材料。所述的纳米天线尺寸与入射光波长同量级。所述的耦合层根据工作波长,满足FP共振条件。本发明还公开一种制备...
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