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本发明提供一种多晶硅还原尾气深度净化方法，包括：使还原尾气依次经过多级冷却处理，以输出气液混合物；对该气液混合物进行气液分离处理，并利用分离出的混合气的冷量对还原尾气进行冷却处理；在两级氯化氢吸收塔中利用塔内自上而下的氯硅烷贫液对冷量已被利...
该专利属于新特能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新特能源股份有限公司授权不得商用。

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