下载一种基板对位装置、基板及基板对位方法的技术资料

文档序号:18912901

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本发明提供了一种基板对位装置、基板及基板对位方法,所述基板对位装置,用于将待对位基板进行对位校正,所述待对位基板的相对两侧设置有磁性件;所述基板对位装置包括相隔设置的两组对位部件,每一组对位部件上分别设有磁性结构,所述磁性结构能够与所述磁性...
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