下载低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法的技术资料

文档序号:18907667

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本发明提出了一种低电阻率氧化铟锡靶材的制备方法,包括以下步骤:1)预混液制备:将分散剂和粘结剂加入水中,搅拌均匀,然后用pH调节剂调节pH值至8~10,得预混液;2)悬浮浆料的制备:向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结助剂,再...
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