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本发明公开了一种提升PERC电池效率和良率的背面膜层结构,包括硅片,所述背面氧化铝钝化膜远离硅片一侧设置有背面氮化硅保护膜,所述背面氮化硅保护膜远离背面氧化铝钝化膜一侧设置有背面氧化铝保护膜;所述背面氧化铝保护膜厚度为2‑30nm,一种制备...该专利属于通威太阳能(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(安徽)有限公司授权不得商用。
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