下载大口径锥镜面形检测系统及检测方法的技术资料

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一种大口径锥镜面形检测系统及检测方法,测量系统包含:波面测量干涉仪,第一安装插口、第二安装插口、工件台、平面参考镜、第一计算全息片和第二计算全息片,待测锥镜安装在工件台上,其轴线与干涉仪光轴平行,平面参考镜安装在第一安装插口,平面参考镜、第...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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