下载一种设备故障情况下的药剂处理结构的技术资料

文档序号:18860803

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本实用新型公开了一种光伏行业硅片清洗设备故障情况下的药剂处理结构,主要由主槽槽体001、副槽槽体002、换液用气动隔膜阀003、气动隔膜泵004、气动隔膜泵005组成;本实用新型的药剂处理结构能够解决现有技术下的清洗设备在出现故障时无法对药...
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