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一种接触模式微加速度计。它包括下基底、上基底，下基底和上基底之间设有支撑柱、薄板与其若干支撑梁及梁的锚点，所述下基底、上基底分别设有下、上定电极，所述定电极表面覆盖有绝缘层，所述薄板的下、上表面分别设有下、上动电极，所述微加速度计具有薄板与...
该专利属于温州大学所有，仅供学习研究参考，未经过温州大学授权不得商用。

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