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一种提高半绝缘磷化铟单晶电阻率均匀性的方法,包括如下步骤:对半绝缘磷化铟单晶进行表面处理;选取与半绝缘磷化铟单晶的尺寸匹配的石英管,进行清洗烘干待用;将半绝缘磷化铟单晶放入该石英管内,并放入一定量的高纯铁粉和红磷;对装有半绝缘磷化铟单晶及高...该专利属于北京鼎泰芯源科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京鼎泰芯源科技发展有限公司授权不得商用。
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一种提高半绝缘磷化铟单晶电阻率均匀性的方法,包括如下步骤:对半绝缘磷化铟单晶进行表面处理;选取与半绝缘磷化铟单晶的尺寸匹配的石英管,进行清洗烘干待用;将半绝缘磷化铟单晶放入该石英管内,并放入一定量的高纯铁粉和红磷;对装有半绝缘磷化铟单晶及高...