下载一种在半导体硅器件上化学镀Ni、Au的工艺的技术资料

文档序号:18846493

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本发明涉及一种在半导体硅器件上化学镀Ni、Au的工艺;其工艺步骤包括配制镀镍液、配置镀金液、氯化金活化液配置、一次镀镍、镍烧结、硝酸处理、二次镀镍和镀金;采用本发明的方法在半导体硅器件上形成的Ni、Au镀层,其镀层金属细腻、均匀,镀层金属颗...
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