下载一种用于调整半导体晶锭在其制造期间的电阻率的方法的技术资料

文档序号:18843348

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本发明涉及一种用于制造由半导体材料制成的晶锭的方法,该方法包括以下步骤:在特定的拉伸条件下从含氧的第一熔融炉料中结晶第一晶锭,称为参考晶锭;测量沿参考晶锭分布的各个区域中的填隙氧浓度;在参考晶锭的各个区域中测量在参考晶锭的结晶过程中形成的热...
该专利属于法国原子能及替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过法国原子能及替代能源委员会授权不得商用。

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