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本发明公开了一种激光重复蚀刻去重实时自动调节焦点位置的装置与方法，装置包括有设备主机、激光器、激光测距传感器、伺服电机和Z轴升降机构，激光测距传感器与激光器并列安装，且激光测距传感器与工件去重位置的距离和激光器与工件去重位置的距离相等。本发...
该专利属于广州市艾派克智能激光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市艾派克智能激光科技有限公司授权不得商用。

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